Y2T94 Molecular Beam Epitaxy 分子束外延

Y2T94 Molecular Beam Epitaxy 分子束外延

 匡国华 光通信女人 2016-08-24
早,聊聊分子束外延,MBE的进阶版,之前写过一篇T356科普版
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主要企业(品牌):法国Riber公司、美国Veeco公司、芬兰DCA Instruments公司、美国SVTAssociates公司、美国NBM公司、德国Omicron公司、德国
MBE-Komponenten公司、英国Oxford Applied Research(OAR)公司
在超真空状态下逐层材料生长的设备,今天画个功能框图
分两大块,一个是样品控制传递,从空气里进入超真空,得一步步通过传送杆送进入,另一个是生长室,用来做外延生长。
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样品控制室:传送杆不用说,是送衬底盘儿滴。 电子枪(电子源),加上衍射和AES俄歇分析,是看衬底材料的,就是一个超级好的显微镜
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通过阀门,把衬底晶圆送到生长室
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离子规,测量真空度
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电子枪(电子源),发射、反射、看衍射信息,就晓得材料表面信息了的。也就是超级显微镜
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不同材料,分子束发射
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百叶窗式的阀门,控制材料流量时间
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最后还有个质谱仪,也是分析材料的。Y2T72
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