沈阳科仪——中国真空行业领军企业

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  • 1979年,我国第一台分子束外延设备在沈阳科仪诞生,打破了“巴统”对我国此类高科技仪器的禁运,填补了国内空白。
  • 1980年,我国第一台X光电子能谱仪在沈阳科仪问世,填补了国内空白;
  • 我国第一台场离子显微镜、第一台高能电子衍射仪、第一台低能电子衍射仪等三十余项填补国内空白项目相继在沈阳科仪完成。
  • 1989年,建成国家分子束外延技术开发实验基地;
  • 1991年,建成国家多功能电子能谱仪生产基地;
  • 1998年,成立“辽宁省精密仪器工程技术中心”;
  • 1999年,通过ISO9001质量体系认证;
  • 2000年,成立国家真空仪器装置工程技术研究中心;
  • 2008年,成立真空技术装备国家工程实验室。

沈阳科仪是我国真空技术领域的领军企业,依托公司组建有“国家分子束外延技术试验基地”、“国家多功能电子能谱仪生产基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”、“真空技术装备国家工程实验室”、“辽宁省真空技术装备专业技术创新中心”等。以真空技术为核心,针对行业基础、关键与共性技术持续不断地进行工程化研究开发,带动和促进我国真空行业的技术进步和产业的快速发展。通过技术集成与创新、成果转化、推广和技术辐射,成为我国真空行业新技术、新产品创新的源头和产业化基地。利用先进的真空技术和制造能力为国家重大科学工程项目提供支撑平台。
近年来,沈阳科仪公司承担包括国家863计划、国家科技支撑计划、国家02科技重大专项、国家04科技重大专项、国家重大科学仪器设备开发专项等十余项国家重点科研项目(课题),体现公司在真空技术与装备领域突出的科研实力。
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沈阳科仪公司多次打破发达国家技术封锁,创造了几十项国内第一,在我国半导体材料与器件及国家大科学工程等领域中发挥了重要作用。沈阳科仪公司现拥有专利62项,曾先后获得国家科技进步特等奖、一等奖、二等奖;中国科学院及省市地方奖项50余项;国家级新产品30余项。
沈阳科仪公司是中国集成电路零部件产业技术创新联盟副理事长单位、中国真空学会副理事长单位、中国通用机械工业协会真空设备分会副理事长单位、辽宁省半导体装备产业技术创新战略联盟理事长单位、沈阳IC装备产业技术创新战略联盟理事长单位、沈阳真空产业技术创新战略联盟理事长单位。

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