钛升华泵的工作原理

2020-05-06真空技术网真空技术网整理
 
从图3可见,钛升华泵的结构大致可分为三部分:吸气面、热丝(或升华器)和控制器。钛升华泵的工作过程是由控制器通电给升华器(或热丝),使钛加热到足够高的温度(1100oC)直接升华。升华出来的钛沉积在用水或液氮冷却的表面上,形成新鲜的钛膜层。钛在升化和沉积的过程中,与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN),结果将空间的气体分子抽除了。
钛升华泵抽除的气体分子吸附在钛膜上,吸附机理是比较复杂的.通常认为是物理吸附和化学吸附综合作用的结果,以化学吸附为主。
钛升华泵的工作原理
图3:钛升华泵的工作原理
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