mbe供应商

沈阳科仪(SKY)
中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司(沈阳科仪)创立于1958年。在2O世纪8O年代初打破西方国家的技术封锁,研制出了我国第一台MBE设备,在超高真空薄膜制备设备、分子束外延设备、无油真空获得设备,真空部件产品等方面达到了国内领先技术水平,先后获得国家、中国科学院和省部级科技进步奖5o余项。2000年国家科技部批准组建了国家真空仪器装置工程技术研究中心,2008年国家发改委批复成立真空技术装备国家工程实验室,使沈阳科仪成为我国真空仪器设备的研发生产基地。沈阳科仪通过不断地自主创新,研制出了MBE_1至MBE-V型系列单片2″-3”研究型分子束外延设备产品。与国外同类MBE产品相比,其性价比具有很大的优势,为我国分子束外延技术的广泛应用和发展做出了重要贡献。目前该公司生产的主流MBE产品是单生长室结构设计的标准型分子束外延设备(样品尺寸~30mm、样品台转速5-50转/分、最高加热温度800℃,4个常规束源炉,加热温度<1300℃,控温精度±0.5℃,RHEED、CCD图像处理系统等,标配报价约85万元)和激光分子束外延设备(PLD)(样品尺寸051ram、基片转速5~6O转/分;样品最高加热温度800℃±1℃,RHEED、1-100amu四极质谱仪、可安装4块靶材的旋转靶台等。不含激光器的标配报价为95万元),代表了我国分子柬外延设备的最高水平
法国Riber公司
法国Riber公司是全球著名的MBE系统及相关设备的制造商和供应商,已有30年以上研发MBE系统的经验,在国际市场和中国市场中所占的市场份额都居于领先地位,也是最早进入中国市场的MBE设备供应商之一,可为客户提供各种化合物半导体薄膜的外延设备和技术服务。2008年6月Riber收购了法国专门制造分子束源炉的ADIX)N公司;2008年9月Riber公司又收购了英国牛津仪器公司控股的VGSemiconMBE部门,进一步扩大了它在国际MBE市场中的占有率。目前Riber公司在全球已有250多个研究型MBE客户,22个生产型MBE客户(市场占有率71),产品的销售网络遍布欧洲、美洲和亚洲等许多国家和地区。Riber公司的主流MBE产品包括:Compact12型(单片1”或1/4×2”,7个源炉端口,低成本)、Compact21型(单片2”或3”,12个源炉端口,最畅销机型)、EPINEAT型(单片或3×2”,11个源炉端口,手动/自动模式,研发和小批量生产型)、MBE49型(4×4”片)、MBE6000型(4×6”片)、MBE7000型(7×6”片)等生产型MBE系统,以及各种蒸发源炉产品和MBE部件相关产品。
美国Veeco公司
美国Veeco公司(VacuumElectronicEquipmentCompany)是一家在纳斯达克上市的著名高科技公司,它成立于1945年。在近十几年的快速发展中Veeco先后收购了一些世界著名的仪器和设备制造公司,不断地发展壮大使其营业额由84oO万美元上升到4亿5000万美元。2001年Veeco收购了美国著名的MBE制造商AppliedEPI公司,2003年又收购了美国著名的MOCVD制造商Emocro公司,Veeco成为世界上唯一的可以同时提供顶级MBE及MOCVD系统的公司,同时它还是世界上著名的微纳米级表面分析仪器的制造公司之一。在MBE设备制造方面,Veeco公司可提供从单片2”或3”研究型MBE系统到多片4×4”或7×6”生产型MBE系统(自动机型)等多种型号的产品,和性能卓越的各种类型的分子束源炉产品,在国际市场中占有的份额仅次于Riber公司而稳居第二位。与其它公司相比,Veeco公司拥有更多的MBE源炉专利,其900gsIJMMarkV阀控源炉具有创新拘喷嘴结构设计,可实现最佳的喷射均匀性及更有效的材料利用率。目前Veeco公司的主流MBE产品是Gen10研究型(单片2”或3”)、Gen20多用途型(单片4”或3×2”)、Gen200Edge生产型(4×4”)和Gen2000FAge生产型(7×6”)等。
芬兰DCAInstruments公司
芬兰DCAInstruments成立于1989年,是一家专业从事分子束外延(MBE)和超高真空薄膜沉积系统及组件设计和制造的公司,在欧洲、美洲和亚洲等世界多个国家和地区都有自己的办事机构和代理商,其产品被许多世界著名的科研机构、研究院所和企业采用。在国际MBE市场中DCA产品的市场份额占据第三位,2007年其3台MBE产品首次进入中国。DCA公司的产品范围包括:研究型和生产型的分子束外延系统、磁控溅射系统、脉冲激光沉积(PLD)系统、电子束(离子束)蒸发系统等十几种标准型号产品外,还可针对用户需求定制更复杂的MBE系统,在用户中具有很好的声誉。目前DCA公司的主流MBE产品有:RX型(单片1”、4组共l6个源炉端口)MBE系统,R450型(单片3”、8个源炉端口)MBE系统,P600型(单片6”或3个2”、12个源炉端口)MBE系统,SGC1000型(单片12”或4个4”、4个电子枪端口、6个源炉端口、晶片全自动传送超高真空(UHV)组件)MPE系统等
美国SVTAssociates公司
美国sVTAssociates(SVTA)公司成立于1993年,其前身足PerkinElmer(PE公司)PhysicalElectronicsMBEGroup,由研发实验室和设备生产部两个部门组成。作为当今MBE没备的主要供应商和技术研发机构之一,它在全球拥有近140个MBE系统在不同的领域生长材料(国际MBE市场份额排名第四位)。SVTA公司与众多科研机构展开合作,过去1O年中获得了美国政府和大型客户的奖励和科研资助经费超过200万美元,是目前唯一既能生产MBE系统、部件,又能独立开发工艺、原位监测外延状态、生长材料的分子束外延公司。
SVTA公司的主流产品包括:SVT35一V系列(单片2”~6”、源炉端口8个,6”机型可向下兼容多片2”)MBE系统、SVTDual35一V系列(双生长室、单片2″-6”或3×4”、源炉端口12个)MBE系统,ALD-01/02型原子层沉积系统,PLI>100/200/400型脉冲激光沉积系统,SMART—E/]r_O1型磁控溅射系统,原位薄膜测试监测系统(如RHEED,原位阴极荧光光谱CI,IS4K原位温度&生长速率监测等),各种类型的蒸发源炉等产品
德国Omicron公司
德国()micronNanoTechnologyGmbH公司成立于1984年,是主要面向科研领域应用的小型专用MBE系统、超高真空表面制备和分析设备制造商,其产品范围覆盖MBE、PLD、XPS、STM、AFM、I.EED、RHEED等几乎所有的超高真空表面制备和分析手段。Omicron公司的最大特点是可以根据用户的应厢需求定制生产各种专用MBE系统,并开发出了集成MBE、能谱分析(XPS)和扫描探针分析(M)等多种手段的薄膜制备和表面分析联合系统。它可以在超高真空下原位连续进行外延薄膜的能谱成分分析、表面形貌和物理效应分析,这种配置的突出优点是实现了外延材料的原位多种手段分析,这是德国()micron公司独一无二的技术优势。目前Omicron公司的薄膜制备和表面分析联合系统在国内已有中科院物理所、北京大学、国家纳米中心、香港中文大学等著名高校和科研院所的14家用户。下图是Omicron公司部分MBE产品的照片。
英国OxfordAppliedResearch(OAR)公司
英国牛津应用研究公司成立于1978年,曾荣获英国工业界的最高荣誉和奖励一英国女王的先进技术成果奖。其产品销售网络遍及全球,主要仪器产品广泛应用于表面科学、先进材料、半导体和纳米科技等领域,在国际市场上赢得了用户们的高度信任和极好评价,已跻身于国际领先的科学仪器制造商行列。Oxford公司的主要产品有:NANoDEP60型纳米团粒
薄膜沉积超高真空系统、NC200U型纳米团粒沉积源(从几十个原子至10nm尺度的材料团粒)、气体射频裂解原子源(高效率裂解N2、O2和H2,最大功率600W-1200W)、TC50型(单裂解区)和TC4X50型(四个裂解区)气体热裂解源(可裂解Hz、Oz、C1z、NH。、氢化物和碳氢化合物)、低能直流氮离子/氧离子源(束流能量:d0—200ev)、小型电子束蒸发源(14种材料组合共蒸发束源)、RF25—150型射频离子源(束流能量0-1Key,束流密度高于2mA/cm)、DC25—150型直流离子源(束流能量O一1Kev,束流4O一300n1A)、ORG50V型阀控有机材料蒸发束源炉(大容量、多种束流引出型态)、RFK30型固体射频裂解源(蒸发裂解如磷、砷、硒和硫等多原子态固体为以单原子为绝对主流的活性束流)、QC5OO型固体阀控射频裂解源等。
德国MBE—Komponenten公司
德国MBE-KomponentenGmbH是一家创立于1989年专门生产各种MBE设备部件的专业化公司。主要产品是与各种MBE系统配套的分子束源炉、电子束蒸发源等MBE关键部件,其产品性能优异,质量可靠,具有极好的性价比,是著名MBE系统制造商VG-Semicon(Riber)和()micron的指定蒸发源供应商。MBE-Komponenten公司的蒸发源产品种类非常齐全,包括各种温度范围的热丝蒸发源(分为低温NTEZ、标准WEZ和高温HTEZ,HTS)、裂解源(VACS,VGCS)、电子束蒸发源(EBV)、掺杂源以及各种气源(原子氢源、气体裂解源等)。每种不同的蒸发源按照其安装法兰尺寸和坩埚容量大小等又进一步细分为双灯丝、冷唇和热唇等型号,源炉的水冷罩和挡板皆可选择集成或分立,其设计非常具有特色。

作者:卷阿
链接:https://www.zhihu.com/question/328624761/answer/1861490055
来源:知乎
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国际上比较专业的大型MBE设备供应商主要有,美国的Vecco,法国的Riber,芬兰的DCA等。这几家从实验室用的小型MBE,到工业相关的英寸级别的圆晶MBE都有供应。并且能提供一定的工艺解决方案。
另外一些超高真空表面科学的供应商因为用户有进行MBE生长的需要,也会提供MBE解决方案,比如德国/瑞典的Scienta Omicron,德国的Createc,波兰的PreVac等。其中,Scienta Omicron的产品线更全一些,从10*10 mm到圆晶都有,印象中其他几家集中在科研用10*10 mm上。这几家供应商一般不能提供生长工艺上的支持。
还有一家比较特殊的是德国的Dr. Eberl MBE-Komponenten,印象中只在科研界见过他们的产品,在企业专注在MBE上,也是10*10到圆晶都有。并为部分其他供应商提供源炉。
最近欧美对中国的MBE系统的出口审查日趋严格,于是国内从事MBE制造的企业就非常多了。光我知道的大概就有,北京的中科艾科美、上海费勉、上海实路、大连齐维、苏州华阳赛斯、沈阳科仪、常州国成、苏州焜原等。我不知道的可能还有很多。
这么多的新生MBE企业大约有几个原因:欧美出口许可严苛,国内厂商就有更多机会;国家加大了对科研仪器国产化的投入;国家加强了在半导体和芯片行业的投入,这些行业的研发需要MBE;出于以上原因,一些投资基金也对MBE制造商有了兴趣。
这么多企业,自然有不少实心做事的,也会有一些浑水摸鱼的。MBE这东西也确实容易浑水摸鱼。用心做个能长出优良结构的设备,它是MBE;搞个不锈钢腔,把泵和蒸发源堆上,往里喷点东西,也可以说是MBE。不过,从前两年新能源汽车的发展历程来看,我以为只要有企业认真做事,并做出点啥,那就是值得的。
MBE的品质有时候也挺难衡量的。因为MBE生长还是挺看使用者的经验和能力的。毕竟有些材料的生长,差一度就会有巨大影响,而热偶点的位置稍有差别,同样的温度测出来就会有差别。好的系统遇上懒惰的人可能也长不出啥;一般的系统遇上肯摸索的人,也许也能长出好结构;不好的设备肯定没戏。
至于最终MBE品质的衡量,个人以为可以考虑以下几点。产品的设计,不同的MBE生长体系(GeSi, III-V, Oxide,拓扑等)会有不同的真空度要求和不同的污染程度,能否合理设计泵系统,用合理的成本达到需要的真空度,就很考验设计水平,无上限地堆泵,肯定不是成熟的产品;另外还有生长控制程序的便捷性、可编辑性和稳定性等。
最终MBE产品的质量和上下游产业也密切相关。追求极限真空时,腔体本身的钢材品质和放气程度就变得重要,这是和整个工业体系相关的。源炉控温的稳定性是MBE品决定性因素之一,一些MBE厂商采购他人的源炉,一些自己做,国内也有不少厂家自己做源炉,性能如何我不大确定。表征设备对MBE也很重要,有膜厚仪、束流规、RHEED等。这些设备的生产商也不多,比如RHEED,我知道的只有两家。我倒不是主张什么都得自己重复造轮子,但实现部分探测设备的国产化可能还是有意义的。我总觉得自己设计个不锈钢腔,把进口的RHEED,源炉,Manipulator,泵全堆上去,也很难算真正的MBE国产化(幸运的是我看到这些部件不少都能国产化)。
至于国产MBE的具体品质,我没用过,实在不好评价。但听说有企业能做圆晶MBE了,还是可喜可贺的。
MBE可能是超高真空设备中唯一和实际生产联系紧密的。但我个人还是对其在工业上的应用前景有所疑虑。MBE技术最大的优点是生长速度慢、结构控制精确。但这同样也是它最大的缺点,对工业生产来说,它实在太慢了。也许只能通过生长高附加值产品,或者多台设备同时开工来克服了?
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